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        產品中心 Product

        • 產品詳情
        產品名稱三氯化硼 Boron Trichloride BCl3
        包裝規格: 40L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
        充裝量: 50kg/瓶
        項目純度指標  
        三氯化硼 BCl399.9%99.999%
        自由氯氣 Cl2≤100 ppmw-
        光氣 COCl2≤100 ppmw-
        氧氣 O2-≤1.0 ppmv
        氮氣 N2-≤1.0 ppmv
        二氧化碳 CO2-≤1.0 ppmv
        一氧化碳 CO-≤1.0 ppmv
        水分 H2O--

        運輸
        DOT 運輸名稱三氯化硼 
        DOT 分類2.3
        DOT 標簽毒氣/呼吸危害,腐蝕
        UN UN1741
        CAS 10294-34-5
        CGA/DISS/JIS660/634/W22-14L
        運輸狀態液化性氣體

        技術信息
        鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
        在空氣中的燃燒極限不可燃
        自然溫度 (°C )-
        分子量 (g/mol)117.17
        比重 ( 空氣 =1)4.04
        臨界溫度 ( °C )178.8
        臨界溫度 ( psig )546.6

        應用
        1. 在半導體制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型擴散。
        2. 離子注入。
        3. 金屬等離子體蝕刻。
        4. 在各種化學反應。


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