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        產品中心 Product

        • 產品詳情
        產品名稱: 八氟環丁烷 Halocarbon C318 - Octafluorocyclobutane  C4F8
        包裝規格: 40L, 44L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
        充裝量: 40kg/瓶
        項目純度指標  
        八氟環丁烷 C4F899.9%99.999%
        氧氣≤80 ppmv≤1.0 ppmv
        氮氣≤300 ppmv≤3.0 ppmv
        二氧化碳≤50ppmv≤0.5ppmv
        一氧化碳≤30 ppmv≤0.5 ppmv
        甲烷≤30 ppmv≤0.5 ppmv
        水分≤10 ppmv≤3.0 ppmv
        其他有機物≤600 ppmv≤5.0 ppmv
        酸度 as HCL ≤1.0 ppmw≤0.1 ppmw

        運輸
        DOT 運輸名稱八氟環丁烷
        DOT 分類2.2
        DOT 標簽不可燃氣體
        UNUN 1976
        CAS115-25-3
        CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L
        運輸狀態液化性氣體

        技術信息
        鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
        在空氣中的燃燒極限不可燃
        自然溫度 (°C )-
        分子量 (g/mol)200.03
        比重 ( 空氣 =1)7.33
        臨界溫度 ( °C )115.2

        應用
        在半導體制程中, 八氟環丁烷被用作二氧化硅和硅層的等離子蝕刻氣體。


        標簽

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