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        產品中心 Product

        • 產品詳情
        產品名稱: 氟甲烷 Halocarbon 41 - Fluoromethane CH3F
        包裝規格: 40L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
        充裝量: 40kg/瓶
        項目純度指標  
        氟甲烷 CH3F99.5%99.995%
        氧氣≤20  ppbv≤5  ppmv
        氮氣≤70 ppbv≤20 ppmv
        二氧化碳
        ≤10 ppmv
        一氧化碳
        ≤10 ppmv
        甲烷
        ≤5 ppmv
        水分≤10 ppbv≤2 ppmv

        運輸
        DOT 運輸名稱氟甲烷
        DOT 分類2.1
        DOT 標簽可燃氣體
        UN NO.UN2810
        CAS No.593-53-3
        CGA/DISS/JIS350/724/W22-14L
        運輸狀態液化性氣體

        技術信息
        鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
        在空氣中的燃燒極限
        自然溫度 (°C )-18
        分子量 (g/mol)34.03
        比重 ( 空氣 =1)1.18
        臨界溫度 ( °C )45

        應用
        在半導體制造中,氟甲烷是硅化合物薄膜的等離子刻蝕氣體。


        標簽

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