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        產品中心 Product

        • 產品詳情
        產品名稱: 三氟甲烷 Halocarbon 23 - Trifluoromethane CHF3 
        包裝規格: 40L, 44L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
        充裝量: 30kg/瓶
        項目純度指標 
        三氟甲烷 CHF3  99.9995%
        氧氣≤1.0 ppmv
        氮氣≤4.0 ppmv
        二氧化碳≤0.5 ppmv
        一氧化碳≤0.5 ppmv
        甲烷≤0.5 ppmv
        其他有機物≤2.0 ppmv
        水分≤2.0 ppmv
        酸度 as HCL≤0.1 ppmv

        運輸
        DOT 運輸名稱三氟甲烷
        DOT 分類2.2
        DOT 標簽不可燃氣體
        UN NO.UN 1984
        CAS No.75-46-7
        CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L
        運輸狀態液化性氣體

        技術信息
        鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
        在空氣中的燃燒極限不可燃
        自然溫度 (°C )不可燃
        分子量 (g/mol)70
        比重 ( 空氣 =1)2.436
        臨界溫度 ( °C )178.43
        臨界溫度 ( psig )686.719

        應用

        1. 三氟甲烷可使用在氧化硅或氮化硅層的等離子蝕刻 

        2. 三氟甲烷是一種低溫制冷劑,用于替換R22


        標簽

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